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主要产品130nm及以上光掩膜
5:1/4:1、SL/QZ
1:1Array光掩膜 -
生产速率：40Pcs/day250nm以上光掩膜25Pcs/day
130nm-250nm 光掩膜
15Pcs/day -
加工周期3~ 6小时完成图纸处理
First 2 Pcs<2~3days
快12~24小时交付[敏感词]块版 -
产能、良率满产年产光掩膜约14000片
整体良率：99.3%
